紫外纳米压印工艺参数对复制精度的影响

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紫外纳米压印工艺参数对复制精度的影响

加工 | 更新时间：2026-07-15

- 紫外纳米压印工艺参数对复制精度的影响
- Effects of process parameters of UV nanoimprint on reproduction accuracy
- 工程塑料应用 2026年54卷第6期页码：156-163
- 作者机构：
  
  1.中山大学化学学院，广州 510006
  2.广东中图半导体科技股份有限公司，广东东莞 523808
- 作者简介：
  
  王静，博士，教授，博士生导师，研究方向为固体无机材料、稀土发光材料的基础与应用
- 基金信息：
- DOI：10.3969/j.issn.1001-3539.2026.06.018
  中图分类号： TQ320.66
- 收稿：2026-03-16，
  
  修回：2026-04-01，
  
  录用：2026-04-13，
  
  纸质出版：2026-06-10
- 稿件说明：
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苏梓泰，王子荣，王静.紫外纳米压印工艺参数对复制精度的影响[J].工程塑料应用，2026，54(6)：156-163.

SU Zitai，WANG Zirong，WANG Jing. Effects of process parameters of UV nanoimprint on reproduction accuracy[J]. Engineering Plastics Application，2026，54(6)：156-163.
苏梓泰，王子荣，王静.紫外纳米压印工艺参数对复制精度的影响[J].工程塑料应用，2026，54(6)：156-163. DOI： 10.3969/j.issn.1001-3539.2026.06.018.

SU Zitai，WANG Zirong，WANG Jing. Effects of process parameters of UV nanoimprint on reproduction accuracy[J]. Engineering Plastics Application，2026，54(6)：156-163. DOI： 10.3969/j.issn.1001-3539.2026.06.018.

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